7月27日，科技媒体《The Information》援引知情人士消息称，一家总部位于上海、具有国资背景的企业已正式启动浸没式深紫外（DUV）光刻机的批量生产，计划2026年生产约5台，2027年将年产量提升至约20台。

首批设备预计年内交付中芯国际（688981.SH/00981.HK）、华虹半导体（01347.HK/688347.SH）及长鑫科技（688825.SH）子公司长鑫存储等内地晶圆厂进行测试与产线导入尝试。

消息一出，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML.US）美股股价盘中一度跌超8%，A股光刻机概念股同步异动。

两位不愿具名的知情人士透露，该上海企业目前已启动浸没式DUV光刻机的批量生产。为加快研发进度，该公司整合了多家中国企业的浸没式DUV研发团队，其中包括国资背景的芯片设备初创公司上海宇量昇科技（以下简称“宇量昇”）。2025年9月，英国《金融时报》报道称，中芯国际已开始测试宇量昇研发的28nm浸没式DUV光刻机。宇量昇与深圳国资控股的新凯来存在资本或项目关联，外界有时将其称为“新凯来系”光刻机。

推动国产DUV加速量产的，是外部限制的不断加码。2026年4月，美国MATCH法案拟将禁售范围从EUV（极紫外光刻）扩大至所有型号浸没式DUV，明确将中芯国际、华虹半导体、长鑫科技等列入限制名单。尽管该法案尚未完成最终立法程序，但在“卡脖子”压力与AI算力需求的双重倒逼下，国产替代从“可选项”变为“必选项”。

不过，国产设备正式导入量产线前，仍需验证精准度、可靠性及产线兼容性，这一过程可能持续数月甚至更长时间。阿斯麦在2025年全年交付131套浸没式DUV系统，国产设备2026年计划的5台仅相当于阿斯麦年出货量的3.8%。

而一旦国产DUV短期内成功“跑通流程、测试WPH（每小时晶圆处理量）”，一个新时代就将到来。