在半导体设备国产替代加速推进的背景下，科创半导体材料设备相关ETF今日集体爆发。今日A股市场整体走强，上证指数上涨1.79%，深证成指上涨4.81%，沪深300上涨3.06%，创业板指上涨7.05%，四大指数集体上涨。

科创半导体设备ETF鹏华(589020)今日表现亮眼，涨幅达19.222%，成交额14.42亿元。该ETF近5个交易日（7月15日至7月21日）累计下跌11.6%，近5日均成交11.79亿元，换手率高达45.57%，规模31.64亿元。其成分股表现强劲，芯源微(688037)、拓荆科技(688072)、华海清科(688120)、中科飞测(688361)均涨停封板，富创精密(688409)涨19.57%。

从产品费率来看，科创半导体设备ETF鹏华(589020)管理费率0.50%+托管费率0.10%，综合费率0.60%/年，为同指数3只ETF中费率最低一档。该ETF近1年超基准年化+22.02%，排名同指数第1/3，展现出突出的超额收益能力。

据基金2026年二季报显示，科创半导体设备ETF鹏华前十大权重股合计占比67.63%。其中第一大权重股华海清科权重10.54%，今日上涨20.00%；第二大权重股中微公司权重9.95%，今日上涨19.09%；第三大权重股中科飞测权重8.69%，今日同样涨停。

同赛道其他ETF亦表现不俗，科创半导体ETF华夏(588170)涨幅19.021%，成交额95.90亿元，规模269.89亿元；科创半导体设备ETF华泰柏瑞(588710)涨幅18.971%，成交额25.02亿元。不过从资金流向看，昨日主力资金仍呈净流出态势，科创半导体设备ETF鹏华连续2个交易日主力资金净流出，近5个交易日主力资金累计净流出2.22亿元。

从指数估值水平看，据Choice金融终端截至7月17日数据，科创半导体材料设备指数最新市盈率248.22倍，处于近一年90.8%分位，估值处于较高位置。