半导体设备ETF广发(560780)申赎数据显示，该ETF上一交易日（9月28日）净申购1.56亿份，至此已连续5个交易日净申购，9月21日至9月28日的5个交易日累计净申购5.16亿份。该ETF跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

今日该ETF跌幅0.10%，成交额4.18亿元，换手率3.43%，近5日日均成交额5.27亿元，近20日日均成交额5.61亿元。近5个交易日（9月22日至9月29日）累计下跌7.59%（较9月21日收盘）。规模121.92亿元，较近20个交易日前减少16.05亿元（-11.6%）。持仓股中，据2026年2季报，中微公司(688012)涨0.09%、北方华创(002371)跌0.78%、长川科技(300604)跌0.42%、拓荆科技(688072)涨0.44%、华海清科(688120)跌0.53%，前五大权重股当日2只上涨、3只下跌。

同赛道ETF份额变动分化。半导体设备ETF国泰(159516)上一交易日（9月28日）净赎回5.31亿份，连续4个交易日净赎回（9月22日至9月28日），近5个交易日累计净赎回1.86亿份；半导体设备ETF易方达(159558)上一交易日净申购5100万份，连续2个交易日净申购（9月24日至9月28日），近5个交易日累计净申购3.84亿份；半导体设备ETF万家(159327)上一交易日净申购1500万份，近5个交易日累计净赎回7800万份。

杠杆资金方面，截至9月28日，半导体设备ETF广发融资余额1.67亿元，当日融资买入额0.23亿元，近5日融资余额增加。

产品费率上，该ETF管理费率0.5%+托管费率0.1%，综合费率0.6%/年，为同指数5只ETF中费率最低一档；截至9月28日的近1月跟踪误差0.031%，在同指数5只ETF中误差第1小。该ETF配有场外联接基金（A类：020639；C类：020640）。

据中证指数官网数据，中证半导体材料设备主题指数最新市盈率132.76倍，股息率0.12%。

长江证券指出，全球半导体设备市场步入高增阶段，预计2026年销售额同比增23.2%，2028年有望达2295亿美元；前道设备龙头营收加速，2026Q3指引增速显著，存储需求强劲带动盈利能力提升；后道封测设备量价齐升，测试设备受益AI芯片复杂度提升，增速远超封装设备，整体呈现营收与盈利全面加速态势。