10月28日，半导体板块领涨市场，人形机器人、半导体等方向表现活跃。消息面上，近期多家A股公司三季报密集披露，半导体设备产业链业绩兑现度受到市场关注。半导体设备ETF招商(561980)今日上涨3.95%，截至15:00成交额2.68亿元，换手率6.27%。

沪深300今日上涨0.85%，半导体设备ETF招商跑赢大盘。该ETF截至上一交易日已连跌2天，今日收涨。前5个交易日（10月21日至10月27日）累计下跌12.23%，近5日日均成交额2.56亿元。截至今日，其规模为41.63亿元，创近60个交易日新低，较近20个交易日前减少16.59亿元（-28.5%）。

据2026年3季报，半导体设备ETF招商前十大权重股合计占比78.49%。今日前五大权重股全部上涨，涨幅在0.74%~9.25%之间：中微公司(688012)涨0.74%，北方华创(002371)涨4.75%，寒武纪(688256)涨4.93%，拓荆科技(688072)涨1.82%，长川科技涨9.25%。此外，中科飞测(688361)涨6.52%，华峰测控(688200)涨4.89%。

产品层面，半导体设备ETF招商管理费率0.5%+托管费率0.1%，综合费率0.6%/年，为同指数2只ETF中费率最低一档；截至10月27日的近1月跟踪误差0.016%，在同指数2只ETF中误差第1小。该ETF配有场外联接基金（A类：020464；C类：020465）。中证半导体产业指数从上市公司中选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体核心产业上市公司证券的整体表现。

个股业绩方面，华西证券指出，长川科技（该ETF前十大权重股）2026年Q3营收24.81亿元，同比增53.93%；归母净利润8.01亿元，同比增82.73%，毛利率56.27%。数字测试机快速放量，存货及合同负债创新高，预示订单加速兑现。公司深度受益国产AI芯片及存储扩产，测试机需求量价齐升，盈利水平显著提升。群益证券指出，长川科技2026年前三季度营收59.4亿元，同比增57.2%；净利润17.7亿元，同比翻倍。受益AI算力及先进封装需求爆发，测试设备价值量提升，公司毛利率升至55.8%，净利率增至29.7%。

山西证券指出，寒武纪2026年前三季度营收95.26亿元，同比增长106.76%，归母净利润37.15亿元，同比增长131.49%，利润增速超收入。Q3毛利率56.53%，同比提升1.24个百分点，显示强成本传导能力。存货116.65亿元及预付款30.44亿元激增，旨在锁定上游产能并应对存储涨价。国联民生指出，寒武纪单季业绩创历史新高，Triton-MLU打通“国模+国芯”算子开发，显著降低模型迁移成本，深化与国产主流大模型适配。

半导体设备ETF招商在连续两日调整后随板块回暖，权重股三季报的业绩兑现为板块情绪提供了基本面支撑。