今日半导体设备板块显著回暖，四大指数整体集体上涨，创业板指涨3.40%，为科技成长方向提供支撑。半导体材料设备主题相关ETF同步走强，其中半导体设备ETF广发（560780）今日上涨4.11%，截至15:00成交额5.28亿元，换手率6.11%。

中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。板块本轮反弹前经历明显回调，半导体设备ETF广发近5个交易日（10月22日至10月28日）累计下跌10.27%，今日的强势表现构成阶段性修复。

持仓股方面，据2026年3季报，半导体设备ETF广发前十大权重股合计占比68.30%，当日集体上涨。其中中微公司（688012）涨0.74%，北方华创（002371）涨4.75%，长川科技（300604）涨9.25%，中科飞测（688361）涨6.52%，江丰电子（300666）涨10.35%。

持仓变动方面，半导体设备ETF广发较上季新进了盛美上海；同时，沪硅产业退出前十大。

同赛道产品中，半导体设备ETF国泰（159516）今日涨4.39%，截至15:00成交额26.25亿元，规模271.63亿元，为规模居同指数5只ETF中第1位；半导体设备ETF万家（159327）今日涨4.16%，换手率13.19%，为同赛道交投最活跃产品。

从产品质地看，半导体设备ETF广发综合费率0.6%/年，为同指数5只ETF中费率最低一档；截至10月27日的近1月跟踪误差0.006%，在同指数5只ETF中误差第1小。该产品场外联接基金A类代码020639、C类代码020640。

规模层面，较近20个交易日前减少43.53亿元（-34.1%），规模回落与前期板块调整同步发生。