10月30日，中微公司(688012)公布2026年三季报，公司营业收入为103.3亿元，同比上升28.1%；归母净利润为41.3亿元，同比上升241.3%；扣非归母净利润为16.2亿元，同比上升83.0%；经营现金流净额为-1.05亿元，同比下降108.1%；EPS(全面摊薄)为4.3159元。

其中第三季度，公司营业收入为36.3亿元，同比上升17.2%；归母净利润为13.1亿元，同比上升159.0%；扣非归母净利润为5.0亿元，同比上升43.8%；EPS为1.3664元。

截至三季度末，公司总资产403.85亿元，较上年度末增长35.3%；归母净资产为314.08亿元，较上年度末增长38.4%。

报告提到，根据市场需求，公司显著加大研发力度。2026年前三季度公司研发支出32.22亿元，较去年同期增长约27.70%，研发支出占公司营业收入比例约为31.20%，公司目前同时推进六大类、超20款新设备的研发。

公司已开发出54种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备、24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和部分量检测设备。刻蚀和薄膜设备的加工的精度已经达到了原子级水平。截至2026年9月底，公司累计已有超过9300个反应台在国内外生产线实现量产。