11月4日，半导体设备板块盘中走强，芯源微盘中振幅超15%，截至发稿，涨13.81%，报200.47元，成交额10.92亿元。同板块托伦斯涨20.00%、京仪装备涨15.86%、华峰测控涨14.36%。该股近20个交易日累计跌幅达38.7%。

消息面上，华西证券11月2日发布的研报指出，芯源微第三季度营收同比大增55.56%，主要受前道化学清洗机加速放量及前道业务收入占比提升驱动；新品放量初期压制毛利率导致单季归母净利润亏损扩大至6306万元，但期间费用率显著下降，规模效应显现。研报同时称，公司目前新签订单同比大幅高增，存货与合同负债同步增长，显示后续营收有望提速，前道Track新机型进入验证大年。公司主营半导体专用设备的研发、生产和销售。

2026年前三季度，公司实现营业总收入13.34亿元，同比增长34.7%；归母净利润亏损5500万元。其中第三季度实现营业总收入4.37亿元，同比增长55.6%；归母净利润亏损6306万元，上半年归母净利润806万元。