今日午后，半导体设备板块出现明显拉升，多只个股封上涨停。从13时30分开始，大量资金涌入，多只宽基ETF成交量激增。半导体设备股再度拉升，京仪装备20cm涨停，托伦斯回封涨停，华峰测控(688200)、中科飞测(688361)、盛美上海(688082)等个股跟涨。

盘面上，科创半导体ETF华夏（588170）今日上涨20.04%，截至15:00成交额93.19亿元，换手率31.07%。同期创业板指上涨6.40%，该ETF跑赢创业板指。

据2026年3季度基金季报，该ETF持仓股中，华海清科(688120)今日上涨17.97%，中科飞测上涨20.00%，中微公司(688012)上涨16.62%，拓荆科技(688072)上涨20.00%，芯源微(688037)上涨20.00%；前五大权重股当日全部上涨，涨幅在16.62%至20.00%之间，前十大权重股合计占比73.69%。

同赛道产品方面，科创半导体设备ETF鹏华（589020）今日上涨19.74%，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）今日上涨18.70%。费率与跟踪质量上，科创半导体ETF华夏综合费率0.6%/年，为同指数3只ETF中费率最低一档；截至11月3日的近1月跟踪误差0.020%，在同指数3只ETF中误差最小。

规模方面，居同指数3只ETF首位，场外联接基金A类代码024417、C类代码024418。该ETF近5个交易日（10月29日至11月4日）累计上涨3.27%，近5日日均成交额42.45亿元。