
9月29日,广立微(301095)发布公告,公司拟与浙江大学签署《共建“浙江大学-广立微硅光技术及量测装备联合研发中心”协议》,共同开展晶圆级硅光测试设备、硅光器件良率提升解决方案以及硅光高效量产光电监控方案研发。公司计划3年内投入中心的资金规模不低于1500万元。
研发中心将投入核心资源突破12英寸晶圆级硅光专用测试系统的技术壁垒,填补高速、高精度、高兼容性专用测试机台的产业空白。针对良率提升,研发中心将建立硅光缺陷特征图谱库,识别波导侧壁粗糙度、耦合损耗、热光系数漂移等关键失效因子的影响规律,并反向指导光刻、刻蚀等前道工艺优化。
研发中心实行管理委员会领导下的中心主任负责制。中心设立管理委员会,负责中心重大事项决策。管理委员会由5名委员组成,浙江大学委派3人,公司委派2人,主任1人由浙江大学委派,副主任1人由公司委派。
2025年中期,广立微实现收入2.46亿元,归母净利润1568万元。
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