10月14日，半导体设备ETF基金（159327）报收1.775元，收跌6.33%，成交金额1.5亿元。同类基金中跌幅最小。

半导体设备ETF基金成立于2024年07月24日，管理人为万家基金，基金经理为吴宜蓉。今年以来基金回报58.86%，同类排名196/3388。

半导体设备ETF基金跟踪的指数为半导体材料设备（931743.CSI）。中证半导体材料设备主题指数从沪深市场中，选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映沪深市场半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

半导体设备ETF基金（159327）的场外联接基金为：万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A（023828.OF）、万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C（023829.OF）。