半导体设备板块资金面持续活跃。成交口径数据显示，半导体设备ETF国泰(159516)上一交易日主力资金净流入3.28亿元，已连续3个交易日（9月14日至9月16日）主力资金净流入，区间累计主力资金净流入8.58亿元；9月10日至9月16日的5个交易日累计主力资金净流入5.81亿元，近17日滚动5日累计主力净流入创阶段新高。同赛道产品同步获资金关注，半导体设备ETF易方达(159558)近5个交易日主力资金累计净流入3.62亿元，半导体设备ETF华夏(562590)累计净流入1.22亿元。

行情方面，今日半导体设备ETF国泰跌0.42%，成交额32.90亿元，换手率7.65%，规模430.08亿元，近5日日均成交额26.21亿元；近5个交易日（9月11日至9月17日）累计上涨5.56%。

持仓股中，据2026年2季度基金季报，中微公司(688012)今日跌0.39%，北方华创(002371)涨0.39%，拓荆科技(688072)涨2.13%，中科飞测(688361)涨6.13%，芯源微(688037)涨2.21%。前十大权重股合计占比63.74%。

份额变动方面，上一交易日（9月16日）该ETF净申购10.53亿份；9月10日至9月16日的5个交易日累计净赎回5.16亿份。杠杆资金方面，截至9月16日融资余额18.61亿元，当日融资买入额4.21亿元，近5日融资余额增加。该ETF 9月16日收盘溢价0.33%。半导体设备ETF国泰管理费率0.5%+托管费率0.1%，综合费率0.6%/年，为同指数5只ETF中费率最低一档，截至9月17日近1月跟踪误差0.041%，场外联接基金（A类：019632；C类：019633）。

开源证券指出，按机构被调研总次数从高到低排序，电子、机械设备、计算机、基础化工、电力设备的关注度较高；边际变化上，相较前一周，计算机、通信、电子、纺织服饰等关注度环比上升。国元证券认为，台积电8月营收同比增长53.3%并创单月新高，AI芯片需求与苹果新品量产共同支撑其第三季度营收向指引高端推进。

跟踪指数方面，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。据中证指数官网数据，该指数最新市盈率123.21倍，股息率0.13%。