普达特科技：自3月24日以来获29台新设备订单，半导体设备新订单达14台
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财中社
杨楚欣
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2026-10-11 19:41:35
10月11日，普达特科技（00650）发布公告，表示公司在半导体设备业务方...
10月11日，普达特科技（00650）发布公告，表示公司在半导体设备业务方面取得了显著进展。根据公告，自2026年3月24日以来，公司共获得了29台新设备订单，其中14台为半导体设备新订单，包括单片清洗设备与炉管LPCVD设备。这些设备主要应用于客户的高端特色工艺半导体与第三代半导体产线。
公告中提到的设备系统包括OCTOPUS与OCTOPUS-SP单片清洗设备，主要用于12寸晶圆背面清洗等工艺，并包含四台硫酸清洗设备。此外，CUBE单片清洗设备和炉管LPCVD设备也在订单之列。这些订单均为正式订单，但尚未确认收入，待客户通过验证后方可确认。
公司自主研发的半导体清洗与炉管LPCVD/ALD设备平台在技术性能上与国际领先设备厂商相当，具备行业领先的设备生产力。公司计划继续发挥技术优势，拓展市场，争取更多批量化正式订单，以推动半导体设备业务快速增长。
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