今日半导体设备板块整体承压，科创半导体产业链相关标的普遍走弱。四大指数整体呈现涨跌互现格局，上证指数报3730.92点、涨0.39%，深证成指报11817.42点、涨0.13%，沪深300报4174.53点、涨0.09%，创业板指报2746.29点、跌0.94%。

科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）今日跌5.56%，截至15:00成交额14.07亿元，换手率14.48%，最新规模100.67亿元。该ETF近5个交易日（10月13日至10月19日）累计下跌8.73%，近5日日均成交额12.88亿元，近20日日均成交额11.72亿元。

据2026年2季报披露的持仓数据，该ETF前十大权重股合计占比68.28%。持仓股中，沪硅产业(688126)今日涨2.99%、安集科技(688019)涨0.50%；华海清科(688120)跌7.39%、中微公司(688012)跌6.08%、中科飞测(688361)跌10.36%、拓荆科技(688072)跌13.88%。前五大权重股当日全部下跌，跌幅在3.44%至13.88%之间。

同赛道产品方面，科创半导体ETF华夏（588170）今日跌5.50%，截至15:00成交额66.95亿元，规模415.00亿元，为规模居同指数3只ETF中第1位；科创半导体设备ETF鹏华（589020）今日跌5.51%，成交额8.24亿元，规模48.61亿元。

产品质感维度上，科创半导体设备ETF华泰柏瑞综合费率0.6%/年，为同指数3只ETF中费率最低一档；截至10月16日的近1月跟踪误差0.009%，在同指数3只ETF中误差第1小；截至10月16日的近1年超基准年化+0.63%，同指数3只ETF中排第1。该产品场外联接基金A类代码024974、C类代码024975。

估值层面，据Choice数据，科创半导体材料设备指数最新市盈率152.39倍。