10月19日，半导体设备板块出现显著调整，产业链个股普遍承压。作为跟踪中证半导体材料设备主题指数的代表性产品，半导体设备ETF国泰(159516)今日下跌5.03%，截至15:00成交额29.00亿元，换手率8.18%。

大盘层面，四大指数整体涨跌互现。截至今日收盘，上证指数报3730.92点、涨0.39%，深证成指报11817.42点、涨0.13%，沪深300报4174.53点、涨0.09%，创业板指报2746.29点、跌0.94%。半导体设备板块走势与大盘形成明显背离。

从持仓股表现看，据2026年2季度基金季报，半导体设备ETF国泰前十大权重股合计占比63.74%。持仓股中，拓荆科技(688072)跌13.88%、中科飞测(688361)跌10.36%、华海清科(688120)跌7.39%、中微公司(688012)跌6.08%、北方华创(002371)跌3.46%；沪硅产业(688126)逆势涨2.99%。前五大权重股当日全部下跌，跌幅在3.46%至13.88%之间。

同赛道产品同步走弱。半导体设备ETF易方达(159558)今日跌4.92%，截至15:00成交额13.37亿元；半导体设备ETF广发(560780)今日跌5.02%，成交额6.59亿元。半导体设备ETF国泰截至15:00成交额29.00亿元，在同类产品中居首。

从阶段性表现看，半导体设备ETF国泰近5个交易日（10月13日至10月19日）累计下跌8.27%，近5日日均成交额25.23亿元，近20日日均成交额27.55亿元。规模方面，该ETF最新规模366.41亿元，较近20个交易日前减少42.72亿元，降幅10.4%。

产品质地方面，半导体设备ETF国泰综合费率0.6%/年，为同指数5只ETF中费率最低一档；截至10月16日的近1月跟踪误差0.014%，在同指数5只ETF中误差第2小；规模居同指数5只ETF中第1位。场外投资者可通过联接基金参与，A类代码019632、C类代码019633。

估值层面，据中证指数官网数据，半导体材料设备指数最新市盈率112.83倍，股息率0.14%。中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。