资金面看，科创半导体设备ETF鹏华(589020)连续5个交易日（8月4日至8月10日）实现主力资金净流入，区间累计净流入8.29亿元。其中，上一交易日（8月10日）主力资金净流入849万元。近17个交易日滚动5日累计主力净流入规模创阶段新高，资金入场节奏持续加快。

行情方面，该ETF今日收跌2.97%，成交额11.90亿元，换手率11.57%，交投保持活跃。不过拉长周期看，该ETF近5个交易日（8月5日至8月11日）累计上涨17.66%，区间表现强劲。据2026年二季报，前十大权重股合计占比67.63%，持仓股今日涨跌互现：第一大权重股华海清科涨1.82%，第二大权重股中微公司跌6.90%，中科飞测跌3.90%，沪硅产业跌1.12%。

同赛道产品资金流向出现分化。主力资金（成交口径）方面，科创半导体ETF华夏(588170)上一交易日净流出3682万元，但近5个交易日累计净流入35.71亿元；科创半导体设备ETF华泰柏瑞(588710)上一交易日净流出611万元，近5个交易日累计净流入9.42亿元。份额变动（申赎口径）方面，科创半导体ETF华夏上一交易日净赎回2.04亿份，近5日累计净赎回77.10亿份；科创半导体设备ETF华泰柏瑞近5日累计净赎回2.16亿份。

两融数据方面，截至8月10日，科创半导体设备ETF鹏华融资余额为3.04亿元，当日融资买入额0.87亿元，近5日融资余额呈增加态势。二级市场上，该ETF今日收盘溢价0.15%，价格与净值基本同步。

产品维度看，该ETF综合费率0.6%/年，为同指数3只ETF中最低一档；近1年超基准年化+8.84%，位列同指数3只ETF首位。规模约102.82亿元，居同指数3只ETF第3位。指数估值方面，据Choice金融终端数据，截至8月5日，科创半导体材料设备指数处于近一年87.6%分位，估值水位相对较高。